| ZnO基透明导电薄膜及其稳定性研究进展 |
| 陈磊;黄新友;孙景峰;谢逊;冯梦现;高春华; |
| 关键词：氧化锌;透明导电薄膜;制备方法;掺杂改性;研究进展 |
| 主要内容：ZnO基透明导电膜的研究进展迅速,其光电性能已接近锡掺杂铟氧化物透明导电薄膜(ITO),而且它相比ITO薄膜易于掺杂、更易刻蚀、在等离子体中稳定性好,未来有望成为平板显示器中取代ITO薄膜的材料。概述了氧化锌基透明导电膜的制备方法和掺杂改性研究进展,对单层膜和多层膜的制备? |
| 《中国陶瓷》 2016(12).42927 |
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