| ZrN力学性质与电子结构的第一性原理研究 |
| 杜军;杨吉哲;王尧; |
| 关键词：磁控溅射;Zr/C纳米薄膜;自蔓延反应;制备工艺;表征 |
| 主要内容：目的研究物理气相沉积技术制备Zr/C纳米多层自蔓延反应薄膜的可行性,以及多层膜的结构和反应特征。方法利用扫描电镜法(SEM)、透射电镜法(TEM)、能谱分析法(EDS)、X射线衍射法(XRD)、差示扫描量热法(DSC)等手段,对薄膜的微观形貌、周期结构、成分组成、晶体结构及反应特征等进 |
| 《表面技术》 2016(8).98-102 |
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