| ZrSiN纳米复合膜的显微结构、力学性能和强化机理 |
| 李润霞;李建昌; |
| 关键词：ZrO_2纳米粒子;阻变;水热法;氧空位 |
| 主要内容：用水热法制备了ZrO_2纳米粒子,结构通过XRD表征,利用GaIn上电极对旋涂于ITO基底上薄膜进行伏安特性测试。结果表明,ZrO_2纳米粒子为微晶单斜相,随水热温度增加,结晶度增强。器件具有双极阻变特性,开关比随水热温度增加而减小,阈值电压则近乎线性增加。样品低阻态输运为欧姆特性 |
| 《真空》 2016(3).26-29 |
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