| ZrW_2O_8薄膜的合成及结构表征 |
| 李伟;陈朋灿;刘京京; |
| 关键词：ZrSiN纳米复合膜;显微结构;共格;力学性能;强化机理 |
| 主要内容：利用磁控溅射方法,采用不同成分的ZrSi复合靶,在单晶硅基底片上沉积不同Si含量的ZrSiN纳米复合膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪等表征测试方法研究了Si含量对ZrSiN纳米复合膜微观结构和力学性能的影响.结果表明:随着Zr |
| 《有色金属材料与工程》 2016(4).132-137 |
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