| 靶基距对Mg掺杂TiO_2薄膜厚度及结构的影响 |
| 彭寿;张宽翔;蒋继文;杨勇;姚婷婷;曹欣;李刚;金克武;徐根 |
| 关键词：靶材刻蚀;AZO薄膜;氧负离子;空间分布 |
| 主要内容：采用未经使用和经长时间使用后的新旧掺铝氧化锌(AZO)圆形平面陶瓷靶,直流磁控溅射制备AZO薄膜,基片分别正对靶材水平放置和立在屏蔽罩旁竖直放置,并通过X射线衍射仪、霍尔效应测试系统、光学椭偏仪等设备分析其结构和光电性能,系统地研究靶材刻蚀对磁控溅射制备AZO薄膜性能空~ |
| 《真空科学与技术学报》 2016(12).1373-1380 |
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