| 薄膜厚度和溅射功率对有机衬底上ZnO_Ga薄膜应力的影响 |
| 马利娥;邵明月;武吉梅;刘善慧;刘定强; |
| 关键词：薄膜传输系统;导向辊;牵引特性 |
| 主要内容：在建立导向辊的牵引力模型的基础上,分析了导向辊牵引特性的影响因素及变化规律,给出了薄膜与导向辊的包角、薄膜张力和牵引力的变化关系,分析了摩擦系数、包角和张力对薄膜和导向辊速差的影响。为薄膜传输系统导向辊的选用和薄膜的稳定传输奠定了理论基础,为提高薄膜产品的加? |
| 《西安理工大学学报》 2016(4).462-467 |
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