| 不同n_(Cu~(2+))∶n_(Cit~(3-))的Cu(Ⅱ)-Cit~(3-)-SiO_2溶胶中电沉积制备Cu_xO-SiO_2复合薄膜 |
| 吴骁;汪建华;翁俊;孙祁;陈义;刘辉;刘繁; |
| 关键词：CO2;MPCVD;CVD金刚石膜 |
| 主要内容：采用微波等离子体化学气相沉积法,以CH4-CO_2为气源,通过改变CO_2的流量,探讨了此气源下金刚石膜的生长情况。利用扫描电子显微镜对制备的金刚石膜表面形貌和断面进行了表征,采用Raman和X射线衍射仪对金刚石膜的质量和晶体结构进行分析。结果表明,CH_4流量为50 m L/min时,CO_2? |
| 《真空与低温》 2016(6).340-343+364 |
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