| 不同厚度PZT薄膜的制备及电性能特性研究 |
| 郑晓华;章荣;史玉龙;沈靖枫;李昂;杨芳儿; |
| 关键词：WS_2;a-C;多层膜;摩擦与磨损;磁控溅射 |
| 主要内容：利用磁控溅射法在单晶硅上制备了不同层厚比的WS_x/a-C纳米多层膜(调制周期约50 nm)。用扫描电镜、X射线衍射、能谱、X射线光电子谱和Raman光谱对薄膜的形貌、成分和组织结构等进行了表征。采用纳米压痕仪、划痕仪和球盘式摩擦仪测试了薄膜的硬度、结合力和在大气环境下(相对湿 |
| 《真空科学与技术学报》 2016(6).659-665 |
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