| 不同厚度PZT薄膜的制备及电性能特性研究 |
| 宋瑞佳;郑俊华;谭秋林; |
| 关键词：铁电薄膜;PZT薄膜;溶胶-凝胶;介电性;铁电性 |
| 主要内容：采用sol-gel(溶胶-凝胶)法在Pt/Ti/SiO_2/Si基底上分别制备了厚度为400 nm、600 nm、800 nm的PZT(锆钛酸铅,Zr/Ti=52/48)薄膜,研究了厚度对薄膜介电性能与铁电性能的影响。通过对薄膜的铁电性能与介电性能进行测试,分析了不同厚度薄膜的剩余极化强度、介电常数 |
| 《电子器件》 2016(5).1034-1036 |
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