| 不同结构多层PZT薄膜的制备及性能特性研究 |
| 董美伶;崔秀芳;王海斗;朱丽娜;金国;徐滨士; |
| 关键词：纳米压痕;曲率法;残余应力;薄膜 |
| 主要内容：采用纳米压痕法中的Suresh模型和Lee模型研究不同基底温度对直流磁控溅射制备的Ti薄膜中残余应力大小及分布的影响。将压痕法计算结果与曲率法结果进行比较研究,同时采用原子力显微镜和X射线衍射仪对Ti薄膜的表面形貌及相结构进行分析。结果表明:Suresh模型计算得到的Ti薄膜残? |
| 《稀有金属材料与工程》 2016(4).843-848 |
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