| 不同结构多层PZT薄膜的制备及性能特性研究 |
| 郑俊华;谭秋林;唐力程;熊继军; |
| 关键词：多层锆钛酸铅/钛酸铅(PT/PZT)薄膜;不同结构;压电材料;溶胶-凝胶法;介电性;铁电性 |
| 主要内容：采用相同的工艺分别制备了锆钛酸铅(PZT,r(Zr)/r(Ti)=52/48)与钛酸铅(PT)两种前驱体,并通过溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上分别制备了PZT,PT/PZT-PZT/PT,PT/PZT/-/PZT/PT 3种不同结构的多层PZT薄膜。利用场发射扫描电 |
| 《压电与声光》 2016(4).655-658 |
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