| 不同气氛下退火的ZnO_Bi_(3.25)La_(0.75)Ti_3O_(12)界面深度剖析（英文） |
| 王小安;汪建华;孙祁;黄平; |
| 关键词：微波等离子体;化学气相沉积;纳米金刚石;氮气 |
| 主要内容：采用微波等离子体化学气相沉积法,以N_2/H_2/CH_4为气源,通过改变反应气氛中的N_2浓度(10%~30%)制备了金刚石薄膜。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪等设备对金刚石薄膜的表面形貌、晶粒尺寸以及薄膜质量进行了分析,研究了不同浓度氮气对于沉积金刚石薄膜的影响,结 |
| 《真空电子技术》 2016(3).43-45+50 |
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