| 不同羧酸根含量对双官能团聚降冰片烯质子交换膜性能影响的分子动力学模拟 |
| 龚丽;刘云珍;吕建国;叶志镇; |
| 关键词：ZnO;Sn掺杂;透明导电薄膜;电学性能;磁控溅射 |
| 主要内容：采用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备了Sn掺杂ZnO透明导电薄膜,用Hall效应测试仪表征了薄膜的电学性能,研究了不同生长条件对薄膜电学性能的影响。研究结果表明,随着Ar/O2比的增加,电阻率先减小后增大,在Ar/O2为6时,取得最低的电阻率为2.02×10-2Ω·cm;随着溅射功率的增大 |
| 《长沙理工大学学报(自然科学版)》 2016(1).81-86 |
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