| 掺Nb浓度对溶胶凝胶法制备TiO_2薄膜透明导电性的影响（英文） |
| 陆妍;丛炳俊;王慷慨;刘涌;韩高荣;宋晨路; |
| 关键词：Nb掺杂TiO2薄膜;溶胶凝胶;结晶性;Nb掺杂浓度;导电薄膜;透过率 |
| 主要内容：采用溶胶凝胶(sol-gel)法制备出不同Nb掺杂浓度的Nb:TiO_2薄膜,再经过后续H2退火提高结晶性能。用X射线衍射(XRD),X射线光电子谱(XPS),扫描电子显微镜(SEM),霍尔仪和紫外可见分光光度计检测分析样品的形貌和性能,其中包括结晶性能、元素价态、电学性能和透过率。结果显示,掺Nb |
| 《稀有金属材料与工程》 2016(S1).214-218 |
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