| 掺氮纳米金刚石薄膜的微观结构对微波场发射性能影响 |
| 许立;熊鹰;王兵;韩汶洪;刘兴龙;方利平; |
| 关键词：微波等离子体化学气相沉积;CH4浓度;掺氮纳米金刚石薄膜;微观结构;微波场发射 |
| 主要内容：采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,通过改变CH_4浓度,在单晶Si(100)基底上制备掺氮纳米金刚石(NCD)薄膜,并以所制备的掺氮NCD薄膜为阴极材料,通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力扫描探针显微镜(AFM)、Raman光谱和S波段射频电子枪等测试方法系统地研究了掺氮N |
| 《稀有金属》 2016(10).1015-1020 |
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