| 超低摩擦WS_2_W-DLC固体润滑薄膜的制备与性能 |
| 许世鹏;李玉宏;陈维铅;林莉;李江;薛仰全; |
| 关键词：ta-C;薄膜;光学常数;椭偏仪;分光光度计;色散模型 |
| 主要内容：目的联合使用光谱型椭偏仪(SE)和分光光度计,精确测定超薄四面体非晶碳薄膜(ta-C)的光学常数。方法由于该薄膜的厚度对折射率、消光系数有很大的影响,仅采用椭偏参数拟合,难以准确得到该薄膜的光学常数,椭偏法测定的未知参数数量大于方程数,椭偏方程无唯一解。因此,加入透过率? |
| 《表面技术》 2016(2).124-128 |
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