| 沉积时间对磁控溅射法制备氮化硼薄膜相结构的影响 |
| 徐洋; |
| 关键词：氮化硼薄膜;沉积时间;红外光谱;相转变 |
| 主要内容：利用射频磁控溅射方法,以六角氮化硼(h BN)为靶材,在单晶硅衬底上制备氮化硼(BN)薄膜,系统地研究了沉积时间对BN薄膜相结构的影响。红外光谱分析表明,随着沉积时间的增加,薄膜中h BN相含量减少,正交氮化硼(o BN)相含量增加。 |
| 《产业与科技论坛》 2016(23).62-63 |
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