| 沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响 |
| 徐强;杨光敏;秦宏宇;白继鹏; |
| 关键词：基底温度;薄膜;摩擦学性能;碳化钒纳米薄膜 |
| 主要内容：采用磁控溅射技术沉积碳化钒(VC)纳米薄膜,研究温度对VC薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响,并分析其内在关系.结果表明,沉积温度升高对VC薄膜的相结构和摩擦系数影响较小,有利于降低薄膜中的应力和粗糙度,可提高薄膜的硬度. |
| 《吉林大学学报(理学版)》 2016(2).378-381 |
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