| 衬底材料对Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜介电性能的影响 |
| 娄建忠;李振娜;方晓燕;代秀红;宋安英;宋建民;刘保亭; |
| 关键词：脉冲激光沉积;Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜;外延;介电性能 |
| 主要内容：采用脉冲激光沉积系统分别在LaAlO_3(001)和MgO(001)衬底上沉积了Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3(BST)薄膜,以Pt做电极分别构架了Pt/BST/MgO和Pt/BST/LaAlO_3叉指电容器。利用X射线衍射仪、原子力显微镜和Aglient E4980LCR表分别对两种薄 |
| 《人工晶体学报》 2016(4).951-955 |
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