| 衬底偏压对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响 |
| 付文博;刘锦华;梁建华;杨本福;周晓松;程贵钧;王维笃; |
| 关键词：衬底;储氢薄膜;电子束热蒸发;形核;薄膜生长 |
| 主要内容：使用电子束蒸发法在抛光Mo、石英和单晶硅衬底上沉积Ti薄膜,并用SPM、XRD及SEM对衬底及薄膜的表面形貌和微观结构进行了分析。结果表明:Ti膜的表面形貌和微观结构受衬底材料影响较大。抛光Mo衬底上的Ti膜表面有微小起伏,断面处发现Ti膜先在衬底形核,后以柱状颗粒的形式竖直向上 |
| 《稀有金属材料与工程》 2016(3).623-628 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号