| 衬底偏压对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响 |
| 徐强;杨光敏;秦宏宇;白继鹏; |
| 关键词：衬底偏压;薄膜;力学性能 |
| 主要内容：采用磁控溅射技术,通过改变衬底偏压在室温下制备系列VC薄膜,并考察衬底偏压对VC薄膜晶体结构、硬度及摩擦磨损性能的影响,建立相互间的内在联系.结果表明,随着衬底偏压的增高,薄膜的晶粒逐渐细化,薄膜硬度逐渐增大,耐磨损性能得到提高,摩擦系数变化较小. |
| 《吉林大学学报(理学版)》 2016(4).883-886 |
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