| 衬底温度对碲化镉薄膜性质及太阳电池性能的影响 |
| 徐继承;谢致薇;杨元政; |
| 关键词：CuAlO2薄膜;磁控溅射;衬底温度;透光性;禁带宽度;表面形貌 |
| 主要内容：通过磁控溅射的方法,在不同温度的石英衬底上制备了CuAlO_2薄膜,研究经过退火处理后,CuAlO_2薄膜的表面形貌、物相结构以及光学性能。实验结果表明:随着衬底温度的增加,薄膜的晶粒逐渐形成和长大,表面组织越来越均匀致密,透光性也随之增强。通过综合比较,可发现:当衬底温度为40 |
| 《电子元件与材料》 2016(7).42-45 |
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