| 充液圆筒形容器薄膜应力计算方法教与学探讨 |
| 黄俊俊;程薇;丁明;王辉;高敏;桑安琪;葛天宇;谭永贞;陈珍 |
| 关键词：离子束辅助溅射;非晶硅薄膜;结构性能;衬底温度 |
| 主要内容：利用氢离子束辅助磁控溅射制备氢化非晶硅薄膜(a-Si∶H),借助拉曼光谱仪、红外光谱仪和椭圆偏振光谱仪等分析测试手段,研究衬底温度对a-Si∶H薄膜结构特性影响规律。结果表明在合适的衬底温度下氢离子束辅助磁控溅射制备的a-Si∶H薄膜具有较好短程有序度和中程有序度;当衬底温0 |
| 《真空科学与技术学报》 2016(12).1368-1372 |
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