| 磁控溅射沉积抗氧化、长寿命二硫化钼基复合薄膜 |
| 赵冠楠;郑增;耿开杰;张晴;张永;严彪; |
| 关键词：电阻率;铝合金薄膜;电输运 |
| 主要内容：在电子工业中,为了制备低电阻率的Al合金薄膜,需要对薄膜进行退火。虽然材料的电阻率与其电输运性能密切相关,然而到目前为止,对于铝合金薄膜的电输运性能研究甚少。本实验首先利用TEM对于磁控溅射铝合金薄膜的结构,特别是对其与基底界面处的结构进行了表征。在此基础上,利用霍 |
| 《稀有金属材料与工程》 2016(5).1142-1146 |
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