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磁控溅射过程中衬底温度对氧化锌薄膜物性的影响
于长明;刘春阳;
关键词：氧化锌薄膜;磁控溅射;衬底温度
主要内容：本论文采用射频磁控溅射在单晶Si衬底上制备Zn O薄膜,研究了不同衬底温度对Zn O薄膜形貌、结晶和发光等物性的影响。
《科技展望》 2016(5).51
全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp
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