| 磁控溅射用难熔金属靶材制作、应用与发展 |
| 徐文正;魏取福;杨莉;魏安方;凤权; |
| 关键词：玄武岩纤维;磁控溅射;铜薄膜;微观结构 |
| 主要内容：采用直流磁控溅射法在玄武岩纤维表面沉积纳米Cu薄膜,工作气体为氩气,利用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察Cu薄膜在纤维表面的微观结构,并较为系统地分析了磁控溅射工艺参数对Cu薄膜表面颗粒尺寸、表面粗糙度等的影响,采用X射线能谱仪(EDX)分析了溅射前后表面各元? |
| 《化工新型材料》 2016(7).136-138+142 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号