| 氮流量对热丝制备富硅-氮化硅薄膜的结构及性质影响 |
| 袁燕;李花;张海宝;杨丽珍;刘忠伟;陈强; |
| 关键词：磁控溅射;氮化铬薄膜;氮流量比;孪生靶 |
| 主要内容：采用中频孪生靶反应磁控溅射在金属镍基底上制备氮化铬薄膜。利用X射线衍射仪、显微硬度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜、磨擦磨损试验仪和电化学工作站等系统研究了氮气流量(即氮/氩流量比)对薄膜的相结构、显微硬度、表面形貌、附着力、耐磨性和耐腐蚀性的影响。结果得到? |
| 《真空科学与技术学报》 2016(12).1381-1386 |
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