| 导电织物增强PVDF复合膜的制备与性能研究 |
| 顾宝宝;赵青南;刘旭;罗乐平;丛芳玲;赵修建; |
| 关键词：磁控溅射;玻璃基TiN薄膜;硬度;氮氩流量比 |
| 主要内容：采用直流磁控溅射镀膜工艺,在不同的氮氩流量比条件下,制备了玻璃基TiN薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM、EDS)、纳米显微硬度仪,研究了TiN薄膜的组织结构、物相组成、表面形貌、元素成份、维氏硬度,分析了氮氩流量比对TiN薄膜结晶取向、硬度的影响机理。 |
| 《硅酸盐通报》 2016(12).4076-4081 |
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