| 等离子体气相凝聚技术制备铜纳米团簇薄膜的沉积速率研究 |
| 李成明;陈良贤;刘金龙;魏俊俊;黑立富; |
| 关键词：等离子体电弧;金刚石自支撑膜;强度;缺陷 |
| 主要内容：为了适应高速气动强烈冲击对金刚石自支撑膜光学窗口强度的需要,提出了等离子体电弧高温处理金刚石自支撑膜以提高其强度的方法,对直径100mm的金刚石自支撑膜进行低气压电弧高温处理并抛光,获得了无裂纹的光学级金刚石自支撑膜。应用扫描电镜、拉曼光谱、正电子湮没技术和光致? |
| 《中国科技论文》 2016(10).1156-1159 |
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