| 低锆含量下SiO_2_ZrO_2复合溶胶稳定性的研究 |
| 黄江磊;罗江山;李喜波;王雅丽;张建波;易勇;唐永建; |
| 关键词：等离子体气相凝聚技术;差分抽气技术;铜纳米团簇薄膜;沉积速率 |
| 主要内容：采用等离子体气相凝聚技术并结合差分抽气技术产生铜纳米团簇束流,然后在衬底上沉积铜纳米团簇薄膜,研究了溅射电流、氩气流量和结露区长度对其沉积速率的影响。利用X射线衍射仪和透射电子显微镜对薄膜微结构进行了表征。结果表明:保持其他参数不变的情况下,增加溅射电流和氩气 |
| 《原子能科学技术》 2016(5).921-926 |
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