| 低工作温度下Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)薄膜对乙醇的气敏性能（英文） |
| 江宏;张勇; |
| 关键词：BNdT薄膜;乙醇气敏性能;金属有机物分解;退火气氛;低工作温度 |
| 主要内容：利用金属有机物分解法(MOD),在Pt/Ti/SiO_2层的Si(100)衬底上制备了Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)(BNd T)薄膜,并将其分别在氧气氛围和空气中进行快速退火处理。运用X射线衍射仪和场发射扫描电子显微镜对BNd T薄膜的晶体结构和形貌进行表征,通过在不同浓 |
| 《TNMSC》 2016(12).3189-3195 |
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