| 低温等离子体接枝改性聚四氟乙烯薄膜表面无钯化学镀铜 |
| 翁俊;孙祁;刘繁;陈义;吴骁;刘辉;汪建华; |
| 关键词：微波等离子体;化学气相沉积;金刚石薄膜 |
| 主要内容：利用微波等离子体化学气相沉积法,以甲烷、氢气和氩气作为工作气体,在较低的沉积温度下,沉积得到了连续的金刚石薄膜。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪分别对金刚石薄膜的表面形貌、生长结构以及沉积质量进行了表征。实验结果表明,氩气的引入虽然可以有效的降低获 |
| 《真空与低温》 2016(5).291-295 |
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