| 东丽等应用聚乳酸薄膜开发出外科手术时使用的新型防粘连材料 |
| 洪超; |
| 关键词：退火处理;缺陷结构;含He纳米晶钛膜 |
| 主要内容：退火处理对材料的缺陷结构有一定的影响。本文以钛圆盘作为阴极靶,Si作为衬底,采用直流磁控溅射制备不同浓度的电子元件用含He纳米晶钛膜,然后对其进行高温退火处理后进行观察分析。最后得到结论,电子元件用含He纳米晶钛膜中生成有择优取向的TiSi2晶体,经过退火处理后的试样钛? |
| 《智能城市》 2016(5).136+138 |
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