产业集群决策
 
对高介电常数栅介质Nd_2O_3薄膜生长速率影响的分析
 
李昆;王琦;高晓鹏;
关键词：前驱体;淀积温度;生长速率
 
主要内容：本文生长了不同前驱体加热温度以及不同淀积温度下的Nd2O3薄膜,通过分析不同条件下的薄膜生长速率从而给出了薄膜生长的最佳工艺参数。
 
《黑龙江科技信息》  2016(10).30
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