| 二步电沉积法制备Au_氧化石墨烯复合薄膜作为SERS基底（英文） |
| 季平;花银群;赵杉月;刘伟; |
| 关键词：ZnO薄膜;多组分掺杂;射频磁控溅射;衬底温度;氧分压;电学性质 |
| 主要内容：采用射频磁控溅射法在Si(111)衬底上制备多组分掺杂ZnO薄膜,研究了衬底温度和氧分压对Bi、Cr、Sb、Mn和Co掺杂ZnO薄膜的晶体结构、表面形貌及电学性能的影响。结果表明:随着衬底温度的升高,ZnO(002)衍射峰相对强度先增强后减弱;薄膜表面粗糙度先减小后增大。随着氧分压的增大,Z |
| 《化工新型材料》 2016(2).145-147 |
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