| 反应温度对Cu_2ZnSnS_4半导体薄膜形貌和性能的影响 |
| 谢挺;祝柏林;杨玉婷;张俊峰;龙晓阳;吴隽; |
| 关键词：Zn/ZnO复合靶;反应溅射;气体流量;ZnO薄膜;结晶度;透明导电性 |
| 主要内容：利用Zn/Zn O复合靶材,通过射频磁控溅射技术,在衬底温度为150℃时分别在Ar+O2和Ar+H2的混合气氛中制备Zn O薄膜,通过干涉显微镜、XRD、Hall效应测试仪、紫外-可见分光光度计研究了O2和H2流量对薄膜结构及透明导电性能的影响。结果发现,薄膜厚度随O2流量增加而明显增加而随H2流? |
| 《人工晶体学报》 2016(3).711-717 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号