| 非平衡磁控溅射法制备的Cr-DLC薄膜真空退火的Raman光谱研究 |
| 卢保奇;许耀先;申广耀;季江华;王林军; |
| 关键词：非平衡磁控溅射;类金刚石碳膜;Raman光谱;XPS;热稳定性 |
| 主要内容：利用非平衡磁控溅射法制得厚度达到2.23μm的掺铬含氢类金刚石(Cr-DLC)碳膜。采用Raman光谱和XPS对制得的薄膜进行了结构和热稳定性等表征。结果表明:室温时,薄膜在1 544cm~(-1)附近的Raman"G"峰归属于石墨结构中C—C键的伸缩振动,即E2g模式;而1 367cm-1附近的" |
| 《光谱学与光谱分析》 2016(11).3568-3571 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号