| 风沙对玻璃表面TiO_2纳米薄膜冲蚀行为研究 |
| 吴法宇;李建伟;齐羿;丁梧桐;樊子铭;周艳文; |
| 关键词：非晶Al2O3薄膜;射频磁控溅射;光学性能;抗菌特性 |
| 主要内容：采用粉末靶射频磁控溅射方法制备非晶Al_2O_3薄膜,分析了溅射工艺参数对Al_2O_3薄膜微观结构、表面形貌、光学性能的影响规律及机理,并探究其抗菌特性.研究结果表明:增加氧通量、降低溅射功率和缩短溅射时间均会减小非晶Al_2O_3薄膜颗粒度与粗糙度,同时也降低薄膜的沉积速率;并 |
| 《金属学报》 2016(12).1595-1600 |
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