| 复合金刚石薄膜涂层铝塑复合管拉拔模的制备及应用(上) |
| 梁枫;廖杨芳;肖清泉;谢泉; |
| 关键词：Mg_2Si薄膜;负偏压;磁控溅射;沉积速率;表面形貌;电阻率 |
| 主要内容：采用直流磁控溅射加负偏压方法和退火工艺制备了Mg_2Si半导体薄膜,研究了不同负偏压对Mg膜的沉积速率、Mg_2Si薄膜结构以及电阻率的影响。结果表明,随着负偏压的增大,因压实膜层和二次溅射效应,Mg膜的沉积速率越来越小;在未加负偏压时,Mg_2Si薄膜的衍射峰最强、样品表面平整致? |
| 《电子元件与材料》 2016(4).35-38 |
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