| 高低温热处理溶胶凝胶SiO_2减反膜的稳定性 |
| 吕东芸;杜立永;丁玉强; |
| 关键词：Al2O3;薄膜;前驱体;ALD |
| 主要内容：随着科学技术的迅猛发展以及各行业要求的不断提升,薄膜类Al2O3开始受到瞩目,其需求不断增长。选择价廉易得的无机盐AlCl_3为铝前驱体,利用其与水共同作用通过ALD技术沉积制备得到的Al_2O_3薄膜。该方法沉积温度范围广,在50~400℃均能得到致密均一的薄膜(通过SEM表征),相应的沉 |
| 《无机盐工业》 2016(11).38-40 |
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