| 高价金属元素掺杂ITO薄膜性能的研究现状 |
| 杨钊;崔晓芳;郗雨林; |
| 关键词：透明导电氧化物;ITO薄膜;掺杂 |
| 主要内容：铟锡氧化物(ITO)薄膜是一种光电性能优良的二元透明导电氧化物(TCO)薄膜,随着其在应用领域的不断拓展,其各项性能需要进一步提升。向ITO薄膜中掺入高价金属元素是一种有效的改性方法,该方法已经逐步成为研究热点。 |
| 《热加工工艺》 2016(2).14-17 |
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