| 高强度有序介孔二氧化硅减反膜的制备及性能 |
| 王毅;蔡宇宏;李正清;李小金;何丹;郭兴;王先荣;王田刚; |
| 关键词：高能电子;黑色聚酰亚胺;薄膜;结构 |
| 主要内容：借助双束加速器对黑色聚酰亚胺薄膜进行了高能电子辐照实验。分别通过SEM、ATR-FTIR及XPS考察了辐照前后黑色聚酰亚胺薄膜表面的形貌变化、表面化学结构与成分变化。结果表明,通过SEM观察发现,电子辐照后,黑色聚酰亚胺薄膜的表面变得更加粗糙。这可能是由于高能电子使PI/C表面? |
| 《真空与低温》 2016(2).119-123 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
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