| 高取向金刚石薄膜的制备 |
| 熊礼威;彭环洋;汪建华;崔晓慧;龚国华; |
| 关键词：MPECVD;甲烷体积分数;氮气流量;高取向;金刚石薄膜;表面形貌 |
| 主要内容：目的研究不同甲烷体积分数、不同氮气流量分别对金刚石(111)面、(100)面生长的影响,实现在最佳工艺下制备高取向金刚石薄膜。方法采用微波等离子体增强化学气相沉积法制备高取向(111)面、(100)面金刚石薄膜,实验前一组(1~#—3~#)以CH_4/H_2为气源,后一组(4~#—5~#)以CH_4 |
| 《表面技术》 2016(11).43023 |
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