| 工艺条件对中频磁控溅射CIGS薄膜的影响 |
| 张健;巴德纯;赵崇凌;杜广煜;刘坤; |
| 关键词：线性微波源;氧化铝薄膜;工艺气体比例;折射率;沉积速度 |
| 主要内容：AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N_2O和TMA特气比例制备氧化铝膜层样品,并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、折射率测试 |
| 《功能材料》 2016(5).5227-5230 |
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