| 功能化石墨烯改性PVAL复合薄膜的合成与表征 |
| 魏丽娟;刘贵山;刘洋;王勇兵;高文元;郝洪顺; |
| 关键词：中频磁控溅射;CIGS薄膜;功率;基底温度 |
| 主要内容：采用铜铟镓硒(CIGS)四元合金靶材,利用中频溅射电源在钠钙玻璃基底上磁控溅射CIGS薄膜。研究了溅射功率及基底温度对CIGS薄膜结构及性能的影响。采用SEM、XRD、UV-Vis及四探针方阻测试仪对CIGS薄膜结构及性能进行了表征。结果表明,随着功率的升高,薄膜晶界明显,晶粒增大,光吸收 |
| 《大连工业大学学报》 2016(6).477-481 |
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