| 厚度对TiN薄膜力学性能的影响 |
| 何远东;张伟才;闫萍;杨洪星; |
| 关键词：光学薄膜;红外增透膜;透过率;机械强度;改性 |
| 主要内容：红外增透膜已被广泛的应用于现代光学系统,并直接决定了光学器件性能的优劣,特别是对于航空航天领域具有十分重要的现实意义。红外增透膜的常见制备方法有真空蒸发、电子束蒸发、化学气相沉积法等。文章着重介绍国内外关于红外增透膜的研究进展,综述红外增透膜材料的选择、常规 |
| 《节能技术》 2016(2).125-128+138 |
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