| 呼吸末二氧化碳变色指示剂薄膜的制备及其性能 |
| 赵升升;周晟昊;余红雅;匡同春;曾德长; |
| 关键词：硬质薄膜;力学性能;薄膜厚度;TiN;残余应力 |
| 主要内容：采用电弧离子镀方法制备了不同厚度TiN薄膜,并对其硬度、结合力、残余应力、摩擦磨损特性等力学性能进行了系统性研究,以揭示硬质薄膜厚度对其力学性能的影响规律。结果表明,随着厚度增加,薄膜表面大颗粒增加,膜基界面剪切力增大,薄膜硬度逐渐增加,结合力逐渐下降,摩擦系数略有 |
| 《真空科学与技术学报》 2016(3).291-295 |
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