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化学气相沉积金刚石膜技术专利分析
范保虎;
关键词：金刚石膜;化学气相沉积;专利;综述
主要内容：从国内外专利文献方面分析了化学气相沉积(CVD)金刚石膜技术的研究与应用发展情况。
《电镀与涂饰》 2016(16).878-880
全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp
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