| 混合改性PP以适用于压延较薄薄膜的研究分析 |
| 杨恢东;王河深;李姗;李心茹;吴浪; |
| 关键词：直流磁控溅射;ZnO:Al薄膜;柔性衬底;辉光功率;方块电阻;相对透射率 |
| 主要内容：目前,磁控溅射制备Zn O:Al薄膜时的溅射压强较低,若氩气流量不稳或腔室排气口处气流扰动会对溅射压强产生较大影响,影响成膜质量。为提高溅射薄膜质量,采用直流磁控溅射技术,在较高溅射压强下,以不同辉光功率在柔性衬底聚酰亚胺上制备了Zn O:Al薄膜。采用紫外可见分光光度计、, |
| 《材料保护》 2016(3).12-14+6 |
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