| 基于AZO_VO_2_AZO结构的电压诱导相变红外光调制器 |
| 徐婷婷;李毅;陈培祖;蒋蔚;伍征义;刘志敏;张娇;方宝英;王 |
| 关键词：AZO/VO_2/AZO;光透过率;相变;阈值电压 |
| 主要内容：采用直流磁控溅射和后退火工艺先在掺Al氧化锌(AZO)导电玻璃基底上制备了高质量的VO_2薄膜,再在VO_2膜层上制备AZO导电膜,最终制备出了AZO/VO_2/AZO三明治结构.测试了VO_2/AZO复合薄膜和AZO/VO_2/AZO三明治结构的组分、微结构以及光学特性,结果表明VO_2/AZO复 |
| 《物理学报》 2016(24).210-218 |
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